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Microemulsion 방법을 이용한 CMP용 CeO2/SiO2 나노 연마 입자의 제조

  • Kwan Young Lee
제목
Microemulsion 방법을 이용한 CMP용 CeO2/SiO2 나노 연마 입자의 제조
저자
Kwan Young Lee
학회명
한국화학공학회 2008년도 봄 총회 및 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-04-23 ~ 2008-04-25

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