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널포인트 주사탐치열현미경을 이용한 SOI 기판 위의 전기적으로 가열된 나노 히터 주변 온도분포 정량적 계측
quantitative temperature profiling across the electrically heated nano-heater on silicon-on-insulator using null point scanning thermal microscopy
- 제목
- 널포인트 주사탐치열현미경을 이용한 SOI 기판 위의 전기적으로 가열된 나노 히터 주변 온도분포 정량적 계측
- 제목 (타언어)
- quantitative temperature profiling across the electrically heated nano-heater on silicon-on-insulator using null point scanning thermal microscopy
- 저자
- KWON, Oh Myoung
- 발행일
- 2013-12-20
- 학회명
- 대한기계학회 2013 마이크로/나노공학부문 추계학술대회
- 개최지
- 강원도
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2013-12-19 ~ 2013-12-20