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Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD
Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD
- 제목
- Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD
- 제목 (타언어)
- Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD
- 저자
- Kang Yoon Mook
- 발행일
- 2016-02-19
- 학회명
- 제50회 한국진공학회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2016-02-17 ~ 2016-02-19