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반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 및 이상 예측
반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 및 이상 예측
- 제목
- 반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 및 이상 예측
- 제목 (타언어)
- 반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 및 이상 예측
- 저자
- Jun-Geol Baek
- 발행일
- 2014-11-22
- 학회명
- 대한산업공학회 2014 추계학술대회
- 개최지
- 경기대학교 수원캠퍼스
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2014-11-21 ~ 2014-11-22