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FET 검지방법과 표면 마이크로머시닝을 이용한 가속도계의 설계

  • Pak, James Jungho
제목
FET 검지방법과 표면 마이크로머시닝을 이용한 가속도계의 설계
저자
Pak, James Jungho
학회명
학술발표회논문집
개최지
학술발표회논문집
학회 개최일
1997-04-26

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