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마이크로머시닝 기술을 이용한 실리콘 2축 각속도계의 설계

  • Pak, James Jungho
제목
마이크로머시닝 기술을 이용한 실리콘 2축 각속도계의 설계
저자
Pak, James Jungho
학회명
대한전기학회 MEMS연구회, 1997년도 학술발표회논문집
개최지
대한전기학회 MEMS연구회, 1997년도 학술발표회논문집
학회 개최일
1997-04-26

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