Surface Analysis of Plasma Pretreated Sapphire Substrate for AlN Buffer Layer

Surface Analysis of Plasma Pretreated Sapphire Substrate for AlN Buffer Layer
제목
Surface Analysis of Plasma Pretreated Sapphire Substrate for AlN Buffer Layer
제목 (타언어)
Surface Analysis of Plasma Pretreated Sapphire Substrate for AlN Buffer Layer
저자
BYUN, Dong Jin
발행일
2017-11-16
학회명
2017년도 한국재료학회 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2017-11-15 ~ 2017-11-17