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New Types of Metal Alkoxides as Precursors for MOCVD and ALD

  • Yunsoo Kim
제목
New Types of Metal Alkoxides as Precursors for MOCVD and ALD
저자
Yunsoo Kim
학회명
대한화학회 창립 60주년 기념 제97회 총회 및 학술발표회
개최지
서울 (한국국제전시장)
학회 개최일
2006-04-20 ~ 2006-04-21

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