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질화공정에 이은 pack siliconizing공정을 통하여 Nb 기판위에 형성된 NbSi2/Si3N4 나노

  • KWUN, Sook In
제목
질화공정에 이은 pack siliconizing공정을 통하여 Nb 기판위에 형성된 NbSi2/Si3N4 나노
저자
KWUN, Sook In
학회명
대한금속재료학회 춘계 학술대회
학회 개최일
2006-04-26 ~ 2006-04-27

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