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상변화형 박막 구조 모델 적용 나노리소그래피 해석

상변화형 박막 구조 모델 적용 나노리소그래피 해석

Choi, Wonjoon

제목: 상변화형 박막 구조 모델 적용 나노리소그래피 해석

제목 (타언어): 상변화형 박막 구조 모델 적용 나노리소그래피 해석

저자: Choi, Wonjoon

발행일: 2014-04-29

학회명: 한국생산제조시스템학회 2014년도 춘계학술대회

개최국가: 대한민국

학회 개최일: 2014-04-28 ~ 2014-04-30