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2-step ELOG of GaN on C-plane Sapphire using Carbonized PR Mask
2-step ELOG of GaN on C-plane Sapphire using Carbonized PR Mask
- 제목
- 2-step ELOG of GaN on C-plane Sapphire using Carbonized PR Mask
- 제목 (타언어)
- 2-step ELOG of GaN on C-plane Sapphire using Carbonized PR Mask
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2012-02-16
- 학회명
- 제19회 한국반도체학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2012-02-15 ~ 2012-02-17