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Atomic Layer Deposition (ALD) 및 Molecular Layer Deposition (MLD) 하이브리드 공정을 활용한 Al-doped ZnO (AZO)/Alucone 다층박막의 인장거동의 평가
Evaluation of Tensile Behavior of Al-doped ZnO (AZO)/Alucone Multilayer Thin film by Atomic Layer Deposition (ALD) and Molecular Layer Deposition (MLD) Hybrid Methods
- 제목
- Atomic Layer Deposition (ALD) 및 Molecular Layer Deposition (MLD) 하이브리드 공정을 활용한 Al-doped ZnO (AZO)/Alucone 다층박막의 인장거동의 평가
- 제목 (타언어)
- Evaluation of Tensile Behavior of Al-doped ZnO (AZO)/Alucone Multilayer Thin film by Atomic Layer Deposition (ALD) and Molecular Layer Deposition (MLD) Hybrid Methods
- 저자
- Byoung-Ho Choi
- 발행일
- 2017-11-01
- 학회명
- 대한기계학회 2017년도 학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2017-11-01 ~ 2017-11-03