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- 제목
- Effect of N2O on Annealed and Un-Annealed Al2O3 Films Prepared by Plasma Assisted Atomic Layer Deposition
- 저자
- Donghwan KIM
- 학회명
- 21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference & exhibition
- 개최국가
- 일본
- 학회 개최일
- 2011-11-28 ~ 2011-12-02