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실리콘 산화막의 두께에 따른 ALD Al2O3 박막의 passivation 효과

  • Donghwan KIM
제목
실리콘 산화막의 두께에 따른 ALD Al2O3 박막의 passivation 효과
저자
Donghwan KIM
학회명
2009 한국신재생에너지학회 춘계학술대회
개최지
제주
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-06-25 ~ 2009-06-27

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