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Internal stress caused by thin layer deposited by plasma polymerization of hexamethyldisiloxane/O2 mixture
- 제목
- Internal stress caused by thin layer deposited by plasma polymerization of hexamethyldisiloxane/O2 mixture
- 저자
- Yoon, Ho Gyu
- 학회명
- 한국고분자학회 추계학술대회 논문집
- 개최지
- 한국고분자학회 추계학술대회 논문집
- 학회 개최일
- 2002-10-10