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플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 밀도와 화학적 결합 비에 따른 수소 페시베이션 효과 비교
플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 밀도와 화학적 결합 비에 따른 수소 페시베이션 효과 비교
- 제목
- 플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 밀도와 화학적 결합 비에 따른 수소 페시베이션 효과 비교
- 제목 (타언어)
- 플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 밀도와 화학적 결합 비에 따른 수소 페시베이션 효과 비교
- 저자
- Kang Yoon Mook
- 발행일
- 2018-08-21
- 학회명
- 제2회 한국 LED 광전자 학회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2018-08-21 ~ 2018-08-22