ScholarWorks@고려대학교

상세 보기

CVD를 이용한 Cu 증착 시 plasma전처리로 인한 구조적 특성의 비교분석

제목
CVD를 이용한 Cu 증착 시 plasma전처리로 인한 구조적 특성의 비교분석
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2009년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제 16회 신소재 심포지엄
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-05-21 ~ 2009-05-22

ScholarWorks@고려대학교

02841 서울특별시 성북구 안암로 145 Tel. 02-3290-2963

COPYRIGHT © 고려대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.