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Control of preferred orientation and residual stress of ZnO prepared by Atomic Layer Deposition
Control of preferred orientation and residual stress of ZnO prepared by Atomic Layer Deposition
- 제목
- Control of preferred orientation and residual stress of ZnO prepared by Atomic Layer Deposition
- 제목 (타언어)
- Control of preferred orientation and residual stress of ZnO prepared by Atomic Layer Deposition
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2015-05-14
- 학회명
- 2015년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제 28회 신소재 심포지엄
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2015-05-14 ~ 2015-05-15