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65-nm CMOS 300 GHz 영상 검출기 및 영상 획득
A 300 GHz Imaging Detector and Image Acquisition Based on 65-nm CMOS Technology
- 윤대근;
- 송기룡;
- 이재성
초록
본 논문에서는 65-nm CMOS 공정을 이용하여 300 GHz 주파수 대역의 영상 검출기를 제작하고, 이에 기반하여 영상을 획득하였다. 검출기 회로 구조는 square-law 동작에 기초를 두고 있다. 제작된 검출기는 285 GHz에서 2,270 V/W의 최대 반응도(responsivity)와 38 pW/Hz1/2의 최소 NEP(Noise Equivalent Power)를 보였으며, 250～305 GHz의 범위에서 NEP<～200 pW/Hz1/2를 보였다. 측정용 패드와 밸룬(Balun)을 포함한 제작된 칩의 크기는 400 μm×450 μm이며, 측정용 요소들을 제외한 주요 칩의 크기는 150 μm×100 μm이다.
키워드
Detector; Imaging; CMOS
- 제목
- 65-nm CMOS 300 GHz 영상 검출기 및 영상 획득
- 제목 (타언어)
- A 300 GHz Imaging Detector and Image Acquisition Based on 65-nm CMOS Technology
- 저자
- 윤대근; 송기룡; 이재성
- 발행일
- 2014
- 저널명
- 한국전자파학회 논문지
- 권
- 25
- 호
- 7
- 페이지
- 791 ~ 793