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증착온도에 따른 실리콘 나노결정 박막의 광학적 특성변화 연구

  • Lee Sang Ryeol
제목
증착온도에 따른 실리콘 나노결정 박막의 광학적 특성변화 연구
저자
Lee Sang Ryeol
발행일
2002-04-01
학회명
한국전기전자재료학회

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