열선 CVD법으로 증착된 비정질 실리콘 박막과 결정질 실리콘 기판 계면의 passivation 특성 분석

  • Donghwan KIM
제목
열선 CVD법으로 증착된 비정질 실리콘 박막과 결정질 실리콘 기판 계면의 passivation 특성 분석
저자
Donghwan KIM
학회명
2009 한국신재생에너지학회 춘계학술대회
개최지
제주
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-06-25 ~ 2009-06-27