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Influence of temperature of AlN deposition by RF Magnetron Sputtering on Patterned Sapphire Substrate
Influence of temperature of AlN deposition by RF Magnetron Sputtering on Patterned Sapphire Substrate
- 제목
- Influence of temperature of AlN deposition by RF Magnetron Sputtering on Patterned Sapphire Substrate
- 제목 (타언어)
- Influence of temperature of AlN deposition by RF Magnetron Sputtering on Patterned Sapphire Substrate
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2014-11-27
- 학회명
- 2014년도 한국재료학회 추계학술대회 및 제27회 신소재 심포지엄
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2014-11-27 ~ 2014-11-28