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실제적 구조를 가진 벌크 및 SOI FinFET에서 발생하는 동적 self-heating 효과
Dynamic Self-Heating Effects of Bulk and SOI FinFET with Realistic Device Structure
- 유희상;
- Hayun Cecillia Chung;
- 양지운
초록
본 연구에서는 실제적 구조를 가지는 bulk와 SOI FinFET에서의 self-heating 효과를 3차원 TCAD 전산모사를 통하여 분석하였다. 기존 연구들에서와 마찬가지로 self-heating 효과에 의해 나타나는 정적인 구동전류의 감소는 SOI FinFET에서 bulk FinFET보다 더 심각함을 보여주고 있다.. 그러나 고속의 logic 동작 및 실제적 구조를 감안하면 SOI FinFET에서의 동적 self-heating 효과는 bulk FinFET과 큰 차이가 없음을 강조한다.
키워드
TCAD simulation; SOI; FinFET; dynamic; self-heating effects
- 제목
- 실제적 구조를 가진 벌크 및 SOI FinFET에서 발생하는 동적 self-heating 효과
- 제목 (타언어)
- Dynamic Self-Heating Effects of Bulk and SOI FinFET with Realistic Device Structure
- 저자
- 유희상; Hayun Cecillia Chung; 양지운
- 발행일
- 2015
- 저널명
- 전자공학회논문지
- 권
- 52
- 호
- 10
- 페이지
- 64 ~ 70