B-stage epoxy를 이용한 MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 실장 기술

제목
B-stage epoxy를 이용한 MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 실장 기술
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
제3회 MEMS 학술대회
학회 개최일
2001-04-13 ~ 2001-04-14