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열반응 상변화 물질을 적용한 나노리소그래피 시스템 해석
Photo-Thermal Analysis of Laser-Nanolithography using Phase Change Material
- 제목
- 열반응 상변화 물질을 적용한 나노리소그래피 시스템 해석
- 제목 (타언어)
- Photo-Thermal Analysis of Laser-Nanolithography using Phase Change Material
- 저자
- Choi, Wonjoon
- 발행일
- 2015-10-15
- 학회명
- 2015 한국생산제조시스템학회 추계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2015-10-14 ~ 2015-10-16