PtRhOy 전극 장벽에 성막한 강유전성 Pb(Zr1-xTix)O3 박막 캐패시터의 특성

제목
PtRhOy 전극 장벽에 성막한 강유전성 Pb(Zr1-xTix)O3 박막 캐패시터의 특성
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop(한국재료학회)
학회 개최일
2001-12-17 ~ 2001-12-17