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리튬이 도핑된 박막을 이용한 실리콘 정전 열 접합

제목
리튬이 도핑된 박막을 이용한 실리콘 정전 열 접합
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
한국요업학회 춘계연구발표회
학회 개최일
1998-04-24 ~ 1998-04-25

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