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Temperature Dependence of ZnO Growth Mechanism on Si(100) Substrate by Atomic Layer Deposition
Temperature Dependence of ZnO Growth Mechanism on Si(100) Substrate by Atomic Layer Deposition
- 제목
- Temperature Dependence of ZnO Growth Mechanism on Si(100) Substrate by Atomic Layer Deposition
- 제목 (타언어)
- Temperature Dependence of ZnO Growth Mechanism on Si(100) Substrate by Atomic Layer Deposition
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2017-11-16
- 학회명
- 2017년도 한국재료학회 추계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2017-11-15 ~ 2017-11-17