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SOI 웨이퍼를 이용한 floating membrane 구조의 thermopile 센서 제작에 관한 연구

제목
SOI 웨이퍼를 이용한 floating membrane 구조의 thermopile 센서 제작에 관한 연구
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
제 11회 적외선 영상센서 Conference
학회 개최일
2000-11-24 ~ 2000-11-25

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