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Influence of Argon Neutral Particle Beam of High Energy in the Neutral Particle Beam Sputtering System Assisted the Change of Structural Properties on the Amorphous Carbon Film
- 제목
- Influence of Argon Neutral Particle Beam of High Energy in the Neutral Particle Beam Sputtering System Assisted the Change of Structural Properties on the Amorphous Carbon Film
- 저자
- Hong MunPyo
- 발행일
- 2012-02-17
- 학회명
- 제19회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 고려대학교 자연캠퍼스
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2012-02-15 ~ 2012-02-17