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ECR 상온증착법에 의한 구리 금속막 코팅

제목
ECR 상온증착법에 의한 구리 금속막 코팅
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2001년도 한국재료학회 추계 학술발표강연 및 논문개요집
개최지
2001년도 한국재료학회 추계 학술발표강연 및 논문개요집
학회 개최일
2001-11-02

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