N+ ion implantation for epitaxial lateral overgrowth of GaN on patterned sapphire substrate

N+ ion implantation for epitaxial lateral overgrowth of GaN on patterned sapphire substrate
제목
N+ ion implantation for epitaxial lateral overgrowth of GaN on patterned sapphire substrate
제목 (타언어)
N+ ion implantation for epitaxial lateral overgrowth of GaN on patterned sapphire substrate
저자
BYUN, Dong Jin
발행일
2013-11-28
학회명
2013년도 한국광전자학회 제3회 정기학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2013-11-28 ~ 2013-11-28