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마이크로 시스템의 3차원 형상 측정을 위한 진동 프로브 개발
마이크로 시스템의 3차원 형상 측정을 위한 진동 프로브 개발
- 제목
- 마이크로 시스템의 3차원 형상 측정을 위한 진동 프로브 개발
- 제목 (타언어)
- 마이크로 시스템의 3차원 형상 측정을 위한 진동 프로브 개발
- 저자
- Jaehwa Jeong
- 발행일
- 2014-05-15
- 학회명
- 한국정밀공학회 2014년도 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2014-05-14 ~ 2014-05-16