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비정질 실리콘의 sequential lateral solidification을 이용한 TFT 소자의 제작과 특성

  • Pak, James Jungho
제목
비정질 실리콘의 sequential lateral solidification을 이용한 TFT 소자의 제작과 특성
저자
Pak, James Jungho
학회명
제 8회 한국 반도체 학술대회
학회 개최일
2001-02-14 ~ 2001-02-15

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