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The Post CMP Phenomenon Characteristics after a GST (Ge2Sb2Te5) Node Separate CMP Process for Phase Change RAM
Sung, Man Young
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제목
The Post CMP Phenomenon Characteristics after a GST (Ge2Sb2Te5) Node Separate CMP Process for Phase Change RAM
저자
Sung, Man Young
발행일
2011-02-18
학회명
한국반도체학술대회
개최지
해비치 호텔 & 리조트 제주
개최국가
대한민국
학회 개최일
2011-02-16 ~ 2011-02-18
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