반도체 디펙(defect)의 특성 데이터를 이용한 IADC(Imageless Automatic Defect Classification) 알고리즘 개발

반도체 디펙(defect)의 특성 데이터를 이용한 IADC(Imageless Automatic Defect Classification) 알고리즘 개발
제목
반도체 디펙(defect)의 특성 데이터를 이용한 IADC(Imageless Automatic Defect Classification) 알고리즘 개발
제목 (타언어)
반도체 디펙(defect)의 특성 데이터를 이용한 IADC(Imageless Automatic Defect Classification) 알고리즘 개발
저자
Jun-Geol Baek
발행일
2019-11-08
학회명
2019 대한산업공학회 추계학술대회
개최지
서울(서울대학교)
개최국가
대한민국
학회 개최일
2019-11-08 ~ 2019-11-08