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PECVD/MOCVD를 이용한 SiO2 나노 입자상의 CeO2 박막 증착

  • Kwan Young Lee
제목
PECVD/MOCVD를 이용한 SiO2 나노 입자상의 CeO2 박막 증착
저자
Kwan Young Lee
학회명
The 5th Annual Meeting of the Applied Rheology Center
개최지
한국
학회 개최일
2006-01-26 ~ 2006-01-26

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