RF-마그네트론 스퍼터링에 의하여 증착한 nc-Si 박막의 크기 및 분포

  • Jonghun Lyou
제목
RF-마그네트론 스퍼터링에 의하여 증착한 nc-Si 박막의 크기 및 분포
저자
Jonghun Lyou
학회명
한국물리학회