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RF-마그네트론 스퍼터링에 의하여 증착한 nc-Si 박막의 크기 및 분포
Jonghun Lyou
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제목
RF-마그네트론 스퍼터링에 의하여 증착한 nc-Si 박막의 크기 및 분포
저자
Jonghun Lyou
학회명
한국물리학회
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