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Microemulsion 방법을 이용한 CMP용 CeO2/SiO2 나노 연마 입자의 제조

  • Kwan Young Lee
제목
Microemulsion 방법을 이용한 CMP용 CeO2/SiO2 나노 연마 입자의 제조
저자
Kwan Young Lee
학회명
the 8th Annual Meeting of the Applied Rheology Center
개최지
서울
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-02-12 ~ 2008-02-12

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