CO 가스 측정을 위한 마이크로 캔틸레버 센서의 최적화 설계

제목
CO 가스 측정을 위한 마이크로 캔틸레버 센서의 최적화 설계
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
전기전자재료학회 하계학술대회
학회 개최일
2005-07-07 ~ 2005-07-09