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RF plasma를 이용한 CMP용 CeO2-coated SiO2 나노 입자 제조

  • Kwan Young Lee
제목
RF plasma를 이용한 CMP용 CeO2-coated SiO2 나노 입자 제조
저자
Kwan Young Lee
학회명
한국공업화학회 2003년도 춘계학회
개최지
대한민국
개최국가
대한민국
학회 개최일
2003-05-02 ~ 2003-05-03

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