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PZT 기반 굽힘 힌지 스테이지의 최적화 설계에 관한 연구

제목
PZT 기반 굽힘 힌지 스테이지의 최적화 설계에 관한 연구
저자
Jaehwa Jeong
학회명
한국정밀공학회 2008 춘계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-06-11 ~ 2008-06-13

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