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반도체 장비의 출하검사 데이터와 고장이력 데이터를 활용한 장비의 고장여부 및 최초 고장시점 예측

반도체 장비의 출하검사 데이터와 고장이력 데이터를 활용한 장비의 고장여부 및 최초 고장시점 예측

Pilsung Kang

제목: 반도체 장비의 출하검사 데이터와 고장이력 데이터를 활용한 장비의 고장여부 및 최초 고장시점 예측

제목 (타언어): 반도체 장비의 출하검사 데이터와 고장이력 데이터를 활용한 장비의 고장여부 및 최초 고장시점 예측

저자: Pilsung Kang

발행일: 2020-11-13

학회명: 2020 대한산업공학회 추계학술대회

개최국가: 대한민국

학회 개최일: 2020-11-13 ~ 2020-11-13