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전기도금된 gold 층을 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징

  • Sahn NAHM
제목
전기도금된 gold 층을 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
저자
Sahn NAHM
학회명
제 13회 한국반도체 학술대회
개최지
제주
개최국가
대한민국
학회 개최일
2006-02-23 ~ 2006-02-24

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