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Laser CVD법에 의해 퇴적된 OXYNITRIDE막의 특성에 관한 고찰

  • Yung-Kwon Sung
제목
Laser CVD법에 의해 퇴적된 OXYNITRIDE막의 특성에 관한 고찰
저자
Yung-Kwon Sung
학회명
대한전기학회 하계학술대회
개최지
대한전기학회 하계학술대회
학회 개최일
1996-07-23

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