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SiNx/Si 기판에 제조된 후막 PZT의 횡 압전 계수 (e31,f) 측정

  • Lee Sang Ryeol
제목
SiNx/Si 기판에 제조된 후막 PZT의 횡 압전 계수 (e31,f) 측정
저자
Lee Sang Ryeol
발행일
2004-07-01
학회명
2

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