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고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석

고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석

PARK, JUNG HO

제목: 고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석

제목 (타언어): 고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석

저자: PARK, JUNG HO

발행일: 2011-02-10

학회명: 한국진공학회 제40회 정기 동계학술대회

개최국가: 대한민국

학회 개최일: 2011-02-09 ~ 2011-02-11