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Study of Magnetic Field Shielded Sputtering Process as a Room Temperature High Quality ITO Thin Film Deposition Process
- 제목
- Study of Magnetic Field Shielded Sputtering Process as a Room Temperature High Quality ITO Thin Film Deposition Process
- 저자
- Hong MunPyo
- 학회명
- 제40회 한국진공학회 동계 정기 학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2011-02-09 ~ 2011-02-11