Study of Magnetic Field Shielded Sputtering Process as a Room Temperature High Quality ITO Thin Film Deposition Process

제목
Study of Magnetic Field Shielded Sputtering Process as a Room Temperature High Quality ITO Thin Film Deposition Process
저자
Hong MunPyo
학회명
제40회 한국진공학회 동계 정기 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2011-02-09 ~ 2011-02-11