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A Study on the Surface Characteristics of a GST Film in CMP Process with Different Type of Abrasives
Lim, Dae-Soon
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HARVARD
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제목
A Study on the Surface Characteristics of a GST Film in CMP Process with Different Type of Abrasives
저자
Lim, Dae-Soon
발행일
2010-10-21
학회명
2010년 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회
개최지
제주 국제컨벤션센터
개최국가
대한민국
학회 개최일
2010-10-21 ~ 2010-10-23
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