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RF Magnetron Sputtering에 의해 제조된 ITO 박막의 특성 및 열처리에 의한 특성 변화

제목
RF Magnetron Sputtering에 의해 제조된 ITO 박막의 특성 및 열처리에 의한 특성 변화
저자
SONG, Kwang Ho
발행일
2008-04-11
학회명
한국고분자학회 2008년 춘계 총회 및 학술대회
개최지
대전컨벤션 센터
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-04-10 ~ 2008-04-11

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